沈阳仪表院四个科研项目近日通过了沈阳市科技局主持的科技成果鉴定，四个项目均是沈阳仪表院依据市场需求自主研发的项目。

“数字影像精密反光镜”系统地开展了数字影像反光镜设计、非球面反光镜数控研磨、反光镜测试评价等技术研究工作，研制出精密非球面数字影像反光镜产品，实现了宽光谱(紫外-可见-近红外)精确控制、高精度(偏差≤0.05mm)面形控制、450℃耐温性等技术要求。

“机电一体化SF6密度变送器”在传感器集成性设计、结构设计、绝缘设计、抗干扰电路设计等方面具有创新性。成果已成功应用到智能电网高压开关现场监控监测系统中，已在新东北电气集团高压开关公司、国电电力大连庄河发电公司等企业得到实际应用。

“高可靠抗冲击位移传感器”研制出了体积小、重量轻、高精度、低漂移、高可靠、抗冲击直线位移传感器。在传感器抗振动、抗冲击设计、抗干扰设计、密封防护设计、宽温区、低漂移设计等方面具有创新性，成果为物联网产业解决了高精度数字化传感器技术难题。

“高性能硅电容压力传感器”研制出了高精度、高可靠的硅电容压力传感器。成果采用MEMS制造工艺，实现了高精度、高可靠、高稳定的压力测量。在硅电容芯体差动结构设计及工艺、层叠结构同时静电封接技术、敏感芯体悬浮式封装结构设计等方面有创新性。项目产品具有较高的性能价格比，市场前景良好。

四项科研项目成果均具有独立自主知识产权，填补了国内空白，主要性能指标达到国内领先、国际先进水平，对推动行业技术进步，增强产品市场竞争力，具有重要的支撑作用。